六十三章与SONY谈判前的准备（二）

    而光刻机里面最重要的就是曝光系统、工件台和对准系统。

    曝光系统的主要功能就是平滑衍射效应、实现均匀照明、滤光和冷光处理、实现强光照明和光强调节等。

    工件台由掩模样片整体运动台xy、掩模样片相对运动台xy、转动台、样片调平机构、样片调焦机构、承片台、掩模夹、抽拉掩模台组成。

    其中，样片调平机构包括球座和半球。调平过程中首先对球座和半球通上压力空气，再通过调焦手轮，使球座、半球、样片向上运动，使样片与掩模相靠而找平样片，然后对二位三通电磁阀将球座和半球切换为真空进行锁紧而保持调平状态。

    样片调焦机构由调焦手轮、杠杆机构和上升直线导轨等组成，调平上升过程初步调焦，调平完成锁紧球气浮后，样片和掩模之间会产生一定的间隙，因此必须进行微调焦。另一方面，调平完成进行对准，必须分离一定的对准间隙，也需要进行微调焦。

    抽拉掩模台主要用于快速上下片，由燕尾导轨、定位挡块和锁紧手轮组成。承片台和掩模夹是根据不同的样片和掩模尺寸而进行设计的。

    而工件台上的一切cao作都需要在对准系统的辅助下，进行手工调节。

    而制造高精度的对准系统需要具有近乎完美的精密机械工艺，对准系统另外一个技术难题就是对准显微镜。为了增强显微镜的视场，许多高端的光刻机，采用了